Advanced metallization for future ULSI - symposium held April 8-11, 1996, San Francisco, California, U.S.A

Författare
(Editors: K.N. Tu ..)
Genre
Konferenspublikation
Språk
Engelska
Förlag År Ort Om boken ISBN
Materials Research Society cop. 1996 USA, Pittsburgh xiii, 597 sidor. ill.